پاورپوینت رسوب شیمیایی فاز بخار

پاورپوینت رسوب شیمیایی فاز بخار

—منابع : —1. A. M. Cassell, J. A. Raymakers, J. Kong, H. Dai, Phys. Chem: B 103 (1999) 92. —2. G. Ortega, G. Rueda, J. Ortiz, “Catalytic CVD production of carbon nanotubes using ethanol”, Microelectronics 36 (2005) 1. —3. S. Chiasi, Y. Murakami, Y. Miyauchi, S. Murayama, “Cold wall CVD generation of single-walled carbon nanotubes and in situ raman scattering measurements of the growth stage”, Chem. Phys. Lett. 386 (2004) 89. —4. V. Ivanov, J. B. Nagy, P. H. Lambin, A. Lucas, X. B. Zhang, X. F. Zhang, D. Bemaerts, G. Van Tendeloo, S. Amelinckx, J. Van Landuyt, “The study of carbon nanotubes produced by catalytic method”, Chem. Phys. Lett. 223 (1994) 329.

—روش رسوب‌ شیمیایی فاز بخار مستلزم رسوب‌گذاری ماده‌ی شامل نانو ذرات از فاز گازی است. ماده آنقدر گرم می‌شود تا به صورت گاز درآید و سپس به صورت یک ماده جامد بر روی سطح، معمولاً تحت خلأ رسوب‌گذاری می‌گردد. ممکن است رسوب‌گذاری مستقیم یا رسوب‌گذاری از طریق واکنش شیمیایی، محصول تازه‌ای را به وجود آورد که با ماده‌ی تبخیر شده تفاوت زیادی داشته باشد. این فرآیند به آسانی نانوپودرهایی از اکسیدها و کاربیدهای فلزات را پدید می‌آورد ، مشروط بر اینکه بخارات کربن یا اکسیژن همراه با فلز در محیط وجود داشته باشد. —